(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(43)申请公布日(21)申请号6.3(22)申请日2022.08.24(71)申请人中山依瓦塔光学有限公司地址528400广东省中山市火炬开发区中心城区祥兴路6号数贸大厦北冀10层1012卡、1013卡(72)发明人(74)专利代理机构中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙)44286专利代理师(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)G02B13/14(2006.01)G02B15/14(2006.01)(54)发明名称高透率低衰减的小倍率可调激光镜头(57)摘要本发明公开了一种高透率低衰减的小倍率可调激光镜头，所述镜头模组包括采用i线玻璃制造且沿光轴从物面到像面顺序设置的透镜一、透镜二、透镜三、透镜四、透镜五、透镜六、透镜七、透镜八、透镜九，所述透镜一、透镜七、透镜九为凹凸透镜；所述透镜二、透镜三为平凸透镜；所述透镜四、透镜五、透镜六为双面凸透镜；所述透镜八为凸凹透镜，本申请采用了使用紫外光线专用的i线玻璃因而紫外光透过率高；而且本镜头模组重新设计了光学结构采用尽量少的镜片实现客户要求的性能，从而也减轻了紫外光透过率的进一步衰减。权利要求书1页说明书3页附图2页CN1152914761.高透率低衰减的小倍率可调激光镜头，其特征在于：所述镜头模组包括采用i线玻璃制造且沿光轴从物面到像面顺序设置的透镜一、透镜二、透镜三、透镜四、透镜五、透镜六、透镜七、透镜八、透镜九，所述透镜一、透镜七、透镜九为凹凸透镜；所述透镜二、透镜三为平凸透镜；所述透镜四、透镜五、透镜六为双面凸透镜；所述透镜八为凸凹透镜；所述透镜一为负焦透镜且凹面朝向物面凸面朝向像面；所述透镜二为正焦透镜且凸面朝向物面平面朝向像面；所述透镜三为正焦透镜且平面朝向物面凸面朝向像面；所述透镜四、透镜五及透镜六均为正焦透镜且均是曲率半径值小的面朝向物面曲率半径值大的面朝向像面；所述透镜七为正焦透镜且凹面朝向物面凸面朝向像面；所述透镜八为负焦透镜且凸面朝向物面凹面朝向像面；所述透镜九为正焦透镜且凹面朝向物面凸面朝向像面，所述透镜九通过调节移动结构能够移动L距离。2.根据权利要求1所述的高透率低衰减的小倍率可调激光镜头，其特征在于：所述透镜一折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50～70，面一曲率半径：‑90mm～‑110mm；面二曲率半径：‑40mm～‑60mm；透镜二折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50～70，面一曲率半径：30mm～50mm；透镜三折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50～70，面二曲率半径：‑50mm～‑70mm；透镜四折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50～70，面一曲率半径：20mm～40mm；面二曲率半径：‑55mm～‑75mm；透镜五折射率范围：1.45～1.65，色散系数范围：65～85，面一曲率半径：10mm～30mm；面二曲率半径：‑35mm～‑55mm；透镜六折射率范围：1.45～1.65，色散系数范围：65～85，面一曲率半径：10mm～30mm；面二曲率半径：‑35mm～‑55mm；透镜七折射率范围：1.45～1.65，色散系数范围：65～85，面一曲率半径：‑70mm～‑90mm；面二曲率半径：‑35mm～‑55mm；透镜八折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：25～40，面一曲率半径：‑140mm～‑160mm；面二曲率半径：‑90mm～‑110mm；透镜九折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50～70，面一曲率半径：‑190mm～‑210mm；面二曲率半径：‑70mm～‑90mm。3.根据权利要求1所述的高透率低衰减的小倍率可调激光镜头，其特征在于：所述透镜一焦距：f＝‑190mm；透镜二焦距：f＝45mm；透镜三焦距：f＝95mm；透镜四焦距：f＝45mm；透镜五焦距：f＝30mm；透镜六折焦距：f＝35mm；透镜七焦距：f＝250mm；透镜八焦距：f＝‑450mm；透镜九焦距：f＝250mm。4.根据权利要求1所述的高透率低衰减的小倍率可调激光镜头，其特征在于：所述调节移动结构包括镜筒一、镜筒二，所述镜筒一与镜筒二螺纹连接，所述透镜九固定于镜筒二5.根据权利要求2所述的高透率低衰减的小倍率可调激光镜头，其特征在于：所述镜筒二的端部设有卡槽，所述透镜九位于该卡槽中且通过锁紧环压紧，锁紧环与镜筒二的内壁螺纹配合。CN115291476高透率低衰减的小倍率可调激光镜头技术领域[0001]本发明涉及一种摄像头模组封装测试装置，特别是一种高透率低衰减的小倍率可调激光镜头。背景技术[0002]DMD无掩模光刻机上使用的投影物镜镜头简称激光镜头，光刻机使用光源为紫外或更短波长的激光，激光光源功率越大，对应的耗能越大、成本越高，故对激光镜头的透过率要求很高，一般要求透过率大于80％；而多数光学玻璃对紫外线的透过率比较低，如H‑ZF2,厚度为10mm时，400nm波长透过率只有93.3％，光刻镜头各个规格都要求很高，激光镜头中用的镜片数量多，所以激光镜头整体的紫外光透过率低；再加上多数光学玻璃经大功率紫外光长时间照射后透过率进一步衰减，导致透过率进一步降低，很难满足光刻机对透过率高的要求；由于光刻机一般刻制高密度的线路板，一块线路板也需要同时用到多个激光镜头来完成刻制，故对激光镜头的放大倍率一致性要求非高，一般都要求在10数量级，而激光镜头中各部件的制造公差造成放大倍率很难达到要求。发明内容[0003]为了克服现有技术的不足，本发明提供一种高透率低衰减的小倍率可调激光镜[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：[0005]高透率低衰减的小倍率可调激光镜头，其特征在于：所述镜头模组包括采用i线玻璃制造且沿光轴从物面到像面顺序设置的透镜一、透镜二、透镜三、透镜四、透镜五、透镜六、透镜七、透镜八、透镜九，所述雷竞技【RAYBET】的APP透镜一、透镜七、透镜九为凹凸透镜；所述透镜二、透镜三为平凸透镜；所述透镜四、透镜五、透镜六为双面凸透镜；所述透镜八为凸凹透镜；所述透镜一为负焦透镜且凹面朝向物面凸面朝向像面；所述透镜二为正焦透镜且凸面朝向物面平面朝向像面；所述透镜三为正焦透镜且平面朝向物面凸面朝向像面；所述透镜四、透镜五及透镜六均为正焦透镜且均是曲率半径值小的面朝向物面曲率半径值大的面朝向像面；所述透镜七为正焦透镜且凹面朝向物面凸面朝向像面；所述透镜八为负焦透镜且凸面朝向物面凹面朝向像面；所述透镜九为正焦透镜且凹面朝向物面凸面朝向像面，所述透镜九通过调节移动结构能够移动L距离。[0006]所述透镜一折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50～70，面一曲率半径：‑90mm～‑110mm；面二曲率半径：‑40mm～‑60mm；透镜二折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50～70，面一曲率半径：30mm～50mm；透镜三折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50 ～70，面二曲率半径：‑50mm～‑70mm；透镜四折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50～ 70，面一曲率半径：20mm～40mm；面二曲率半径：‑55mm～‑75mm；透镜五折射率范围：1.45～ 1.65，色散系数范围：65～85，面一曲率半径：10mm～30mm；面二曲率半径：‑35mm～‑55mm；透 镜六折射率范围：1.45～1.65，色散系数范围：65～85，面一曲率半径：10mm～30mm；面二曲 CN115291476 率半径：‑35mm～‑55mm；透镜七折射率范围：1.45～1.65，色散系数范围：65～85，面一曲率半径：‑70mm～‑90mm；面二曲率半径：‑35mm～‑55mm；透镜八折射率范围：1.55～1.75，色散 系数范围：25～40，面一曲率半径：‑140mm～‑160mm；面二曲率半径：‑90mm～‑110mm；透镜九 折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50～70，面一曲率半径：‑190mm～‑210mm；面二曲 率半径：‑70mm～‑90mm。 [0007] 所述透镜一焦距：f＝‑190mm；透镜二焦距：f＝45mm；透镜三焦距：f＝95mm；透镜四 焦距：f＝45mm；透镜五焦距：f＝30mm；透镜六折焦距：f＝35mm；透镜七焦距：f＝250mm；透镜 八焦距：f＝‑450mm；透镜九焦距：f＝250mm。 [0008] 所述调节移动结构包括镜筒一、镜筒二，所述镜筒一与镜筒二螺纹连接，所述透镜 九固定于镜筒二内。 [0009] 所述镜筒二的端部设有卡槽，所述透镜九位于该卡槽中且通过锁紧环压紧，锁紧 环与镜筒二的内壁螺纹配合。 [0010] 本发明的有益效果是：本发明的镜头模组包括采用i线玻璃制造且沿光轴从物面 到像面顺序设置的透镜一、透镜二、透镜三、透镜四、透镜五、透镜六、透镜七、透镜八、透镜雷竞技【RAYBET】的APP 九，本申请采用了使用紫外光线专用的i线玻璃因而紫外光透过率高；而且本镜头模组重新 设计了光学结构采用尽量少的镜片实现客户要求的性能，从而也减轻了紫外光透过率的进 一步衰减，通过测量辐照前后透过率对比数据，整组镜头通过紫外光辐照300小时后衰减 4％，而旧的镜头衰减10％，因而本申请的镜头模组紫外光透过率比旧结构大大提高，从而 能满足光刻机高标准。 附图说明 [0011] 下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。 [0012] 图1是镜头模组的光路原理图。 [0013] 图2是镜头模组的镜片布置图。 [0014] 图3是调节移动结构的组装结构图。 [0015] 图4是调节移动结构的局部爆炸图。 具体实施方式 [0016] 参照图1、图2，本发明公开了一种高透率低衰减的小倍率可调激光镜头，所述镜头 模组包括采用i线玻璃制造且沿光轴从物面10到像面11顺序设置的透镜一1、透镜二2、透镜 三3、透镜四4、透镜五5、透镜六6、透镜七7、透镜八8、透镜九9，所述透镜一1、透镜七7、透镜 九9为凹凸透镜；所述透镜二2、透镜三3为平凸透镜；所述透镜四4、透镜五5、透镜六6为双面 凸透镜；所述透镜八8为凸凹透镜，所述透镜一1为负焦透镜且凹面朝向物面10凸面朝向像 面11；所述透镜二2为正焦透镜且凸面朝向物面10平面朝向像面11；所述透镜三3为正焦透 镜且平面朝向物面10凸面朝向像面11；所述透镜四4、透镜五5及透镜六6均为正焦透镜且均 是曲率半径值小的面朝向物面10曲率半径值大的面朝向像面11；所述透镜七7为正焦透镜 且凹面朝向物面10凸面朝向像面11；所述透镜八8为负焦透镜且凸面朝向物面10凹面朝向 像面11；所述透镜九9为正焦透镜且凹面朝向物面10凸面朝向像面11，通过上述光学结构设 计，本申请的整组镜头辐照300小时后衰减4％，紫外光透过率大大提高。而且所述透镜九 CN115291476 通过调节移动结构能够移动L距离，能够起到调节放大倍率作用，使放大倍率能满足光刻机高标准的同时而又能满足其它性能要求。 [0017] 作为具体的数据：所述透镜一1折射率范围：1 .55～1 .75，色散系数范围：50～70， 焦距优选：f＝‑190mm，面一曲率半径：‑90mm～‑110mm；面二曲率半径：‑40mm～‑60mm；透镜 二2折射率范围：1 .55～1 .75，色散系数范围：50～70，焦距优选：f＝45mm，面一曲率半径： 30mm～50mm；透镜三3折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50～70，焦距优选：f＝95mm， 面二曲率半径：‑50mm～‑70mm；透镜四4折射率范围：1.55～1.75，色散系数范围：50～70，焦 距优选：f＝45mm，面一曲率半径：20mm～40mm；面二曲率半径：‑55mm～‑75mm；透镜五5折射 率范围：1 .45～1 .65，色散系数范围：65～85，焦距优选：f＝30mm，面一曲率半径：10mm～